Effects of trivalent lanthanide (La and Nd) doped ceria abrasives on chemical mechanical polishing

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标题	Effects of trivalent lanthanide (La and Nd) doped ceria abrasives on chemical mechanical polishing 三价镧系元素（La和Nd）掺杂氧化铈磨料对化学机械抛光的影响相关领域镧系元素掺杂剂材料科学兴奋剂化学机械平面化化学工程抛光无机化学纳米颗粒纳米技术离子冶金化学有机化学光电子学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.powtec.2021.11.069
DOI	10.1016/j.powtec.2021.11.069 doi
其它	期刊：Powder Technology 作者：Eungchul Kim; Jaewon Lee; Chulwoo Bae; Hyunho Seok; Hyeong-U Kim; et al 出版日期：2021-11-01
求助人	Lee 在 2024-08-25 16:49:44 发布自浙江，悬赏 10 积分
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