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 A batch-fabricated and electret-free silicon electrostatic vibration energy harvester 一种批量制造的无驻极体硅静电振动能量采集器
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Philippe Basset; Dimitri Galayko; Ayyaz Mahmood Paracha; Frédéric Marty; Andrii Dudka; et al 出版日期：2009-10-12 |
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