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![]() 一种批量制造的无驻极体硅静电振动能量采集器
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期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering 作者:Philippe Basset; Dimitri Galayko; Ayyaz Mahmood Paracha; Frédéric Marty; Andrii Dudka; et al 出版日期:2009-10-12 |
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