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标题
Localized electrochemical deposition manufacturing of copper microwalls based on the control of microanode movement trajectory
基于微阳极运动轨迹控制的铜微壁局部电化学沉积制造
相关领域
材料科学 电化学 沉积（地质） 铜 弹道 运动（音乐） 冶金 运动控制 电极 物理医学与康复 声学 物理 地质学 医学 古生物学 量子力学 天文 沉积物
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2025.109350
DOI
10.1016/j.mssp.2025.109350 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Qixin Qing; Yanxiang Huang; Ting Zhu; Dengguo Xu; Chen Wang
出版日期：2025-02-01
求助人
maomao 在 2025-03-10 15:30:58 发布自广西，悬赏 10 积分
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