Corrosion mechanism in PVD deposited nano-scale titanium nitride thin film with intercalated titanium for protecting the surface of silicon

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标题	Corrosion mechanism in PVD deposited nano-scale titanium nitride thin film with intercalated titanium for protecting the surface of silicon 相关领域材料科学钛薄膜纳米压痕氮化钛扫描电子显微镜溅射沉积介电谱氮化物硅复合材料氮化硅图层（电子）化学工程冶金溅射纳米技术电化学化学电极物理化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.electacta.2018.01.042
DOI	10.1016/j.electacta.2018.01.042 doi
其它	期刊：Electrochimica Acta 作者：A.U. Chaudhry; Bilal Mansoor; Tarang Mungole; Georges Ayoub; David P. Field 出版日期：2018-02-01
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