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标题
The next generation of Inchworm actuators evolves with nanometer resolution, multimillimeter range, and power-off hold
下一代尺蠖驱动器向纳米分辨率、多毫米范围和断电保持发展
相关领域
执行机构 计量学 光子学 放大器 功率（物理） 变形镜 刚度 计算机科学 物理 电气工程 光学 工程类 电信 量子力学 热力学 带宽（计算）
网址
https://doi.org/10.1117/12.540055
DOI
10.1117/12.540055 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Galen Powers; Qin Xu; James A. Smith
出版日期：2004-07-29
求助人
tgoutgou 在 2024-09-21 19:30:01 发布自吉林，悬赏 20 积分
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