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 Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers 庆祝Stoney薄膜应力方程100周年：从多晶钢带到单晶硅晶片的发展
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期刊：Thin Solid Films 作者：G. C. A. M. Janssen; Mostafa Abdalla; Fred van Keulen; B. R. Pujada; B. van Venrooy 出版日期：2009-01-01 |
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