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 Fabrication of arrays of tapered silicon micro-/nano-pillars by metal-assisted chemical etching and anisotropic wet etching 金属辅助化学刻蚀和各向异性湿法刻蚀制备锥形硅微/纳米柱阵列
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期刊：Nanotechnology 作者：Kazutoyo Yamada; Mitsuhiko Yamada; Hideyuki Maki; Kazuyoshi Itoh 出版日期：2018-05-11 |
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