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Kinetic approach to defect reduction in directed self-assembly
定向自组装中缺陷减少的动力学方法
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期刊:Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems 作者:Jiajing Li; Paulina Rincon-Delgadillo; Hyo Seon Suh; G. Mannaert; Paul F. Nealey 出版日期:2019-10-10 |
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