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标题
Rectification of extreme ultraviolet lithography patterns by directed self-assembly: a roughness and defectivity study
通过定向自组装校正极紫外光刻图案：粗糙度和缺陷研究
相关领域
极紫外光刻 整改 平版印刷术 极端紫外线 材料科学 纳米技术 紫外线 表面光洁度 光学 光电子学 物理 复合材料 激光器 功率（物理） 量子力学
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.23.4.043001
DOI
10.1117/1.jmm.23.4.043001 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology
作者：Julie Van Bel; Lander Verstraete; Hyo Seon Suh; Philippe Bézard; Alain Moussa; et al
出版日期：2024-10-18
求助人
Frank 在 2024-12-17 16:59:42 发布自美国，悬赏 20 积分
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