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标题
Bevel etch methods for BEOL peeling defect reduction
减少BEOL剥离缺陷的斜面蚀刻方法
相关领域
斜面 材料科学 薄脆饼 钝化 锥齿轮 图层（电子） 化学机械平面化 蚀刻（微加工） 抛光 化学气相沉积 氧化物 光电子学 复合材料 机械工程 冶金 工程类
网址
https://doi.org/10.1109/cstic.2015.7153387
DOI
10.1109/cstic.2015.7153387 doi
其它 期刊：China Semiconductor Technology International Conference
作者：Cheng-Long Zhang; Qiyang He; Hai-Yang Zhang
出版日期：2015-03-15
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无机非 在 2024-11-25 10:30:31 发布自安徽，悬赏 10 积分
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