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![]() 具有优异耐干蚀刻性的高透明ArF抗蚀剂设计新策略
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期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者:Wenwei Zhao; Takeshi Ohfuji; Masaru Sasago; Seiichi Tagawa 出版日期:1998-06-29 |
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