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Fundamentals of pulsed plasmas for materials processing
用于材料加工的脉冲等离子体基础
相关领域
材料科学 等离子体 溅射 双极扩散 等离子体浸没离子注入 脉冲功率 离子 原子物理学 脉冲直流 溅射沉积 高功率脉冲磁控溅射 薄膜 光电子学 电压 离子注入 纳米技术 化学 电气工程 物理 有机化学 工程类 量子力学
网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2003.09.049
AI链接 escholarship.org escholarship.org osti.govdoi.org
DOI
10.1016/j.surfcoat.2003.09.049 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：André Anders
出版日期：2003-12-12
求助人
缥缈的凝海 在 2024-12-21 16:26:02 发布自广东，悬赏 10 积分
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