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Investigation of defect formation at the early stage of PVT-grown 4H-SiC crystals
PVT生长4H-SiC晶体早期缺陷形成的研究
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Shanshan Hu; Yafei Liu; Qianyu Cheng; Zeyu Chen; Xiao Tong; et al 出版日期:2024-02-01 |
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