Chemical mechanical polishing of tantalum and tantalum nitride

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标题	Chemical mechanical polishing of tantalum and tantalum nitride 钽和氮化钽的化学机械抛光相关领域钽氮化钽抛光材料科学冶金碳化钽氮化物复合材料图层（电子）
网址	http://ui.adsabs.harvard.edu/abs/2009PhDT........99J/abstrac... AI链接 harvard.edu
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	期刊：作者：Sathish Babu S. V. Janjam 出版日期：2009-01-01
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