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标题
Methods of trichlorosilane synthesis for polycrystalline silicon production. Part 2: Hydrochlorination and redistribution
多晶硅生产用三氯氢硅合成方法。第2部分：氢氯化和再分配
相关领域
三氯氢硅 硅 多晶硅 材料科学 纳米技术 冶金 薄膜晶体管 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.3897/j.moem.7.2.65572
AI链接 pensoft.net doaj.org zenodo.org zenodo.orgdoi.org
DOI
10.3897/j.moem.7.2.65572 doi
其它 期刊：Modern Electronic Materials
作者：Vladimir N. Jarkin; Oleg A. Kisarin; Tatyana V. Kritskaya
出版日期：2021-06-30
求助人
CD 在 2024-11-05 16:29:02 发布自浙江，悬赏 10 积分
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