| 标题 |
 Methods of trichlorosilane synthesis for polycrystalline silicon production. Part 2: Hydrochlorination and redistribution 多晶硅生产用三氯氢硅合成方法。第2部分：氢氯化和再分配
相关领域
三氯氢硅
硅
多晶硅
材料科学
纳米技术
冶金
图层（电子）
薄膜晶体管
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| 网址 | |
| DOI |
10.3897/j.moem.7.2.65572
doi
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| 其它 |
期刊：Modern Electronic Materials 作者：Vladimir N. Jarkin; Oleg A. Kisarin; Tatyana V. Kritskaya 出版日期：2021-06-30 |
| 求助人 | |
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