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Multilayer Thin-Film Capacitor Fabricated by Radio-Frequency Magnetron Sputtering
射频磁控溅射制备多层薄膜电容器
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期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Yuji Imamiya; Isaku Kanno; Ryuji Yokokawa; Hidetoshi Kotera 出版日期:2011-09-01 |
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