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Surface activated bonding of ALD Al2O3 films
ALD Al2O3薄膜的表面活化键合
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网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/acb656
DOI
10.35848/1347-4065/acb656 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Junsha Wang; Ryo Takigawa; Tadatomo Suga
出版日期：2023-01-26
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鸡蛋灌饼 在 2025-01-31 11:00:07 发布自江苏，悬赏 10 积分
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