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![]() 氧离子束注入六甲基二锗沉积二氧化锗薄膜
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期刊:Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A Accelerators Spectrometers Detectors and Associated Equipment 作者:Satoru Yoshimura; Satoshi Sugimoto; Takae Takeuchi; Kensuke Murai; Masato Kiuchi 出版日期:2023-09-21 |
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