Silicon-processes-compatible contact engineering for two-dimensional materials integrated circuits

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标题	Silicon-processes-compatible contact engineering for two-dimensional materials integrated circuits 二维材料集成电路的硅工艺兼容接触工程相关领域接触电阻电接点集成电路纳米技术硅半导体材料科学兴奋剂缩放比例工程物理电子工程工程类光电子学图层（电子）几何学数学
网址	https://doi.org/10.1007/s12274-023-6167-z
DOI	10.1007/s12274-023-6167-z doi
其它	期刊：Nano Research 作者：Li Gao; Zhangyi Chen; Chao Chen; Xiankun Zhang; Zheng Zhang; et al 出版日期：2023-10-27
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