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 Fabrication of uniform, periodic arrays of exotic AlN nanoholes by combining dry etching and hot selective wet etching, accessing geometries unrealisable from wet etching of planar AlN 通过结合干蚀刻和热选择性湿蚀刻，制造均匀、周期性的奇异AIN纳米孔阵列，获取平面AIN的湿蚀刻无法实现的几何形状
相关领域
蚀刻（微加工）
干法蚀刻
制作
材料科学
平面的
反应离子刻蚀
光电子学
纳米技术
图层（电子）
计算机科学
医学
计算机图形学（图像）
病理
替代医学
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| 其它 |
期刊：Microelectronic Engineering 作者：Robert Fraser Armstrong; Philip A. Shields 出版日期：2024-11-08 |
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