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 Commercialization of microcavity plasma devices and arrays: Systems for VUV photolithography and nanopatterning, disinfection of drinking water and air, and biofilm deactivation for medical therapeutics 微腔等离子体器件和阵列的商业化：真空紫外光刻和纳米图案化系统，饮用水和空气的消毒，以及用于医疗的生物膜失活
相关领域
微等离子体
材料科学
光刻
等离子体
紫外线
纳米技术
光电子学
原子层沉积
图层（电子）
物理
量子力学
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| DOI | |
| 其它 |
期刊：Plasma Processes and Polymers 作者：Sun-Uk Kim; Andrey A. Mironov; Jin Whan Cho; Dane J. Sievers; C. M. Herring; et al 出版日期：2022-08-17 |
| 求助人 | |
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