| 标题 |
 Optical emission spectroscopy as a tool for studying, optimizing, and monitoring plasma-assisted atomic layer deposition processes 光学发射光谱作为研究、优化和监测等离子体辅助原子层沉积过程的工具
相关领域
原子层沉积
等离子体
沉积（地质）
光谱学
图层（电子）
等离子体处理
材料科学
原子发射光谱法
过程（计算）
薄膜
分析化学（期刊）
化学
纳米技术
感应耦合等离子体
计算机科学
环境化学
操作系统
生物
物理
量子力学
古生物学
沉积物
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Adriaan J. M. Mackus; Sbs Stephan Heil; E Erik Langereis; Hcm Harm Knoops; van de Mcm Richard Sanden; et al 出版日期：2010-01-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
杳鸢
模糊中正
劲秉
嗯哼
5度转角
Candice
王一博
无名老大
方羽
Loooong
VDC
菠萝菠萝哒
不配.
自信项链
丰知然
chen
cdercder
蜡笔小鑫
pluto
cocolu
皖公网安备34019202002308
