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Dependence of temperature coefficient of frequency (TCf) on crystallography and eigenmode in N-doped silicon contour mode micromechanical resonators
掺氮硅轮廓模微机械谐振器中频率温度系数(TCf)对晶体学和本征模的依赖性
相关领域
谐振器
兴奋剂
材料科学
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温度系数
硅
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期刊:Sensors and Actuators A Physical 作者:Haoshen Zhu; Cheng Tu; Guangcun Shan; Joshua E.-Y. Lee 出版日期:2014-08-01 |
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