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 Computational Fluid Dynamics simulation of the ALD of alumina from TMA and H2O in a commercial reactor 工业反应器中TMA和H2O氧化铝ALD的计算流体力学模拟
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期刊：Chemical Engineering Research & Design 作者：Georgios P. Gakis; Hugues Vergnes; E. Scheid; Constantin Vahlas; Brigitte Caussat; et al 出版日期：2018-04-01 |
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