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标题
Behavior Analysis of Si Etching Process with HF/HNO3 Mixture in Single-Spin Wafer Process
单旋转圆片工艺中HF/HNO 3混合物腐蚀Si过程的行为分析
相关领域
薄脆饼 材料科学 X射线光电子能谱 蚀刻(微加工) 分析化学(期刊) 化学工程 复合材料 纳米技术 化学 图层(电子) 有机化学 工程类
网址
DOI
10.4028/www.scientific.net/SSP.282.83 doi
求助人
Yaro 在 2024-09-11 18:42:32 发布自广东,悬赏 10 积分
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  • 1个月前,求助关闭

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  • 1个月前

    Yaro Yaro 求助人 Lv2 发起了本次求助

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