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 Performance of JBX-9000MV with negative-tone resist for 130-nm reticle 130nm光罩用负调抗蚀剂JBX-9000MV的性能
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Naoki Takahashi; Masayoshi Tsuzuki; Jun Kotani; Jun Yoshida; Yuji Kodaira; et al 出版日期：2001-01-22 |
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