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 Synthesis of Highly Transparent SiCxNyOz:H Films via Plasma-Chemical Decomposition of 1,1,3,3,5,5-Hexamethylcyclotrisilazane, Oxygen, and Nitrogen Gas Mixture 等离子体化学分解1，1，3，3，5，5-六甲基环三硅氮烷、氧气和氮气混合物合成高透明SiCxNyOz：H薄膜
相关领域
化学
氮气
氧气
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拉曼光谱
分析化学（期刊）
椭圆偏振法
硅
光谱学
薄膜
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材料科学
量子力学
光学
物理
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期刊：Russian journal of general chemistry 作者：А. Г. Плеханов; Н. И. Файнер; E. A. Maksimovskiy; Vladimir R. Shayapov; Irina V. Yushina; et al 出版日期：2019-11-01 |
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