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Synthesis of Highly Transparent SiCxNyOz:H Films via Plasma-Chemical Decomposition of 1,1,3,3,5,5-Hexamethylcyclotrisilazane, Oxygen, and Nitrogen Gas Mixture

化学氮气氧气分解拉曼光谱分析化学（期刊）椭圆偏振法硅光谱学薄膜有机化学纳米技术材料科学量子力学光学物理

作者

А. Г. Плеханов,Н. И. Файнер,E. A. Maksimovskiy,Vladimir R. Shayapov,Irina V. Yushina,M. N. Khomyakov

出处

期刊：Russian Journal of General Chemistry [Springer Nature]
日期：2019-11-01 卷期号：89 (11): 2290-2294

标识

DOI：10.1134/s1070363219110203

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