Synthesis of Highly Transparent SiCxNyOz:H Films via Plasma-Chemical Decomposition of 1,1,3,3,5,5-Hexamethylcyclotrisilazane, Oxygen, and Nitrogen Gas Mixture

化学 氮气 氧气 分解 拉曼光谱 分析化学(期刊) 椭圆偏振法 光谱学 薄膜 有机化学 纳米技术 材料科学 物理 量子力学 光学
作者
А. Г. Плеханов,Н. И. Файнер,E. A. Maksimovskiy,Vladimir R. Shayapov,Irina V. Yushina,M. N. Khomyakov
出处
期刊:Russian Journal of General Chemistry [Pleiades Publishing]
卷期号:89 (11): 2290-2294
标识
DOI:10.1134/s1070363219110203

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