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标题
Reaction Mechanism of Area-Selective Atomic Layer Deposition for Al2O3 Nanopatterns
Al2O3纳米图案的区域选择性原子层沉积反应机理
相关领域
原子层沉积 材料科学 成核 单层 沉积(地质) 纳米技术 薄膜 图层(电子) 化学工程 吸附 选择性 催化作用 物理化学 化学 有机化学 工程类 古生物学 生物 沉积物
网址
DOI
10.1021/acsami.7b13365 doi
其它 期刊:ACS Applied Materials & Interfaces
作者:Seunggi Seo; Byung Chul Yeo; Sang Soo Han; Chang Mo Yoon; Joon‐Young Yang; et al
出版日期:2017-11-14
求助人
迷路的游侠 在 2024-07-29 16:35:10 发布自北京,悬赏 10 积分
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