Perspectives on artificial intelligence for plasma-assisted manufacturing in semiconductor industry - 科研通

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标题	书籍（章节） Perspectives on artificial intelligence for plasma-assisted manufacturing in semiconductor industry 半导体行业等离子体辅助制造的人工智能展望相关领域半导体工业制造工程半导体半导体器件制造等离子体工程类材料科学计算机科学光电子学物理核物理学薄脆饼
网址	https://doi.org/10.1016/b978-0-323-99135-3.00010-5
DOI	10.1016/b978-0-323-99135-3.00010-5 doi
其它	期刊：Elsevier eBooks 作者：Kapil Sawlani; Ali Mesbah 出版日期：2024-01-01
求助人	舒适涵山在 2024-07-18 16:17:59 发布自福建，悬赏 30 积分
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