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标题
Bosch Etching Study with Large Open Rate and Depth Application
大开口率博世刻蚀研究及深度应用
相关领域
蚀刻（微加工） 小型化 薄脆饼 抵抗 材料科学 光电子学 炸薯条 反应离子刻蚀 芯片级封装 干法蚀刻 图层（电子） 纳米技术 电气工程 工程类
网址
https://doi.org/10.1109/icept.2018.8480778
DOI
10.1109/icept.2018.8480778 doi
其它 期刊：
作者：Yulong Ren; Zheng Huang; Fei Geng; Peng Sun
出版日期：2018-08-01
求助人
懵懂的广缘 在 2024-09-22 13:47:31 发布自湖北，悬赏 10 积分
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