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 The frequency dependence of the discharge properties in a capacitively coupled oxygen discharge 电容耦合氧放电中放电特性的频率依赖性
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期刊：Plasma sources science & technology 作者：Jón Tómas Guðmundsson; Davíð Ingvi Snorrason; Holmfridur S. Hannesdottir 出版日期：2018-02-06 |
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