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标题
Parallel two-photon lithography achieving uniform sub-200 nm features with thousands of individually controlled foci
并行双光子光刻实现具有数千个单独控制焦点的均匀亚200 nm特征
相关领域
光学 平版印刷术 材料科学 制作 无光罩微影 飞秒 激光器 光学（聚焦） 数字微镜装置 微透镜 光刻 衍射 光电子学 光掩模 X射线光刻 纳米光刻 抵抗 电子束光刻 纳米技术 物理 替代医学 病理 镜头（地质） 医学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1364/oe.483524
AI链接 doi.org nih.govdoi.org
DOI
10.1364/oe.483524 doi
其它 期刊：Optics Express
作者：Shunhua Yang; Chenyi Su; Songyun Gu; Qiuyuan Sun; Qi Sun; et al
出版日期：2023-03-29
求助人
光亮孱 在 2024-11-09 15:46:35 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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  • 15天前

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