Parallel two-photon lithography achieving uniform sub-200 nm features with thousands of individually controlled foci

光学 平版印刷术 材料科学 制作 无光罩微影 飞秒 激光器 光学(聚焦) 数字微镜装置 微透镜 光刻 衍射 光电子学 光掩模 X射线光刻 纳米光刻 抵抗 电子束光刻 纳米技术 物理 替代医学 病理 镜头(地质) 医学 图层(电子)
作者
Shunhua Yang,Chenyi Su,Songyun Gu,Qiuyuan Sun,Qi Sun,Liang Xu,Zhenyao Yang,Tianhao Jia,Chenliang Ding,Shih‐Chi Chen,Cuifang Kuang,Xü Liu
出处
期刊:Optics Express [The Optical Society]
卷期号:31 (9): 14174-14174 被引量:6
标识
DOI:10.1364/oe.483524
摘要

The limited throughput of nano-scale laser lithography has been the bottleneck for its industrial applications. Although using multiple laser foci to parallelize the lithography process is an effective and straightforward strategy to improve rate, most conventional multi-focus methods are plagued by non-uniform laser intensity distribution due to the lack of individual control for each focus, which greatly hinders the nano-scale precision. In this paper, we present a highly uniform parallel two-photon lithography method based on a digital mirror device (DMD) and microlens array (MLA), which allows the generation of thousands of femtosecond (fs) laser foci with individual on-off switching and intensity-tuning capability. In the experiments, we generated a 1,600-laser focus array for parallel fabrication. Notably, the intensity uniformity of the focus array reached 97.7%, where the intensity-tuning precision for each focus reached 0.83%. A uniform dot array structure was fabricated to demonstrate parallel fabrication of sub-diffraction limit features, i.e., below 1/4 λ or 200 nm. The multi-focus lithography method has the potential of realizing rapid fabrication of sub-diffraction, arbitrarily complex, and large-scale 3D structures with three orders of magnitude higher fabrication rate.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
无花果应助苗条的紫文采纳,获得30
1秒前
2秒前
3秒前
siy完成签到,获得积分10
3秒前
许山柳发布了新的文献求助10
4秒前
烂漫凡雁发布了新的文献求助40
5秒前
草木发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
JinwenShi完成签到,获得积分10
7秒前
年华发布了新的文献求助10
8秒前
CipherSage应助孙梦涵采纳,获得10
8秒前
8秒前
典雅薯片完成签到,获得积分10
8秒前
SUKAZH完成签到,获得积分10
8秒前
MLi完成签到,获得积分10
8秒前
11秒前
赘婿应助多情的夜安采纳,获得10
11秒前
Hello应助5552222采纳,获得10
13秒前
13秒前
14秒前
晨晨发布了新的文献求助10
15秒前
华仔应助杰森斯坦虎采纳,获得10
15秒前
钮小童发布了新的文献求助10
15秒前
英俊的铭应助坚强的纸鹤采纳,获得10
16秒前
小马甲应助黄筱妍采纳,获得10
16秒前
乔诶次完成签到 ,获得积分10
20秒前
20秒前
21秒前
FashionBoy应助戈壁滩的鱼采纳,获得20
21秒前
123完成签到,获得积分20
21秒前
小二郎应助LJJ采纳,获得10
22秒前
you完成签到,获得积分10
24秒前
garlic完成签到,获得积分10
24秒前
25秒前
高兴月亮完成签到 ,获得积分10
25秒前
jwC发布了新的文献求助10
27秒前
yin发布了新的文献求助10
28秒前
坚强的纸鹤完成签到,获得积分20
29秒前
华仔应助Hima采纳,获得10
30秒前
哆啦A梦完成签到,获得积分10
30秒前
高分求助中
The Oxford Handbook of Social Cognition (Second Edition, 2024) 1050
The Young builders of New china : the visit of the delegation of the WFDY to the Chinese People's Republic 1000
юрские динозавры восточного забайкалья 800
English Wealden Fossils 700
Chen Hansheng: China’s Last Romantic Revolutionary 500
COSMETIC DERMATOLOGY & SKINCARE PRACTICE 388
Case Research: The Case Writing Process 300
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3141451
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2792465
关于积分的说明 7802933
捐赠科研通 2448664
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1302761
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 626650
版权声明 601237