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标题
Using machine learning in the physical modeling of lithographic processes
在光刻工艺物理建模中使用机器学习
相关领域
计算机科学 人工神经网络 校准 过程（计算） 平版印刷术 人工智能 节点（物理） 数据建模 机器学习 工程类 软件工程 程序设计语言 结构工程 统计 艺术 视觉艺术 数学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2519848
DOI
10.1117/12.2519848 doi
其它 期刊：
作者：Kostas Adam; Shashidhara K. Ganjugunte; Clement Moyroud; Kanstantsin Shchehlik; Michael Lam; et al
出版日期：2019-04-04
求助人
勤劳怜寒 在 2024-10-05 13:40:44 发布自四川，悬赏 20 积分
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