Investigation of Optimum Deposition Conditions of Radio Frequency Reactive Magnetron Sputtering of Al0.7Sc0.3N Film with Thickness down to 20 nm

已完结

文献求助详情

标题	Investigation of Optimum Deposition Conditions of Radio Frequency Reactive Magnetron Sputtering of Al0.7Sc0.3N Film with Thickness down to 20 nm 射频反应磁控溅射20nm以下Al0.7Sc 0.3 N薄膜最佳沉积条件的研究相关领域材料科学铁电性矫顽力溅射结晶度分析化学（期刊）复合材料溅射沉积薄膜电介质凝聚态物理纳米技术光电子学化学物理色谱法
网址	https://doi.org/10.1002/aelm.202200726
DOI	10.1002/aelm.202200726 doi
其它	期刊：Advanced electronic materials 作者：Seung Kyu Ryoo; Kyung Do Kim; Hyeon Woo Park; Yong Bin Lee; Suk Hyun Lee; et al 出版日期：2022-09-02
求助人	Sean 在 2025-02-19 08:44:24 发布自河北，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

有了科研通，下载文献真轻松！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: zzz发布了新的文献求助10

1秒前; 吃不饱星球球长的应助被慢慢的地理人采纳，获得10

22秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

22秒前; zsmj23完成签到，获得积分0

31秒前; shuqin完成签到，获得积分10

1分钟前; 小马甲的应助被zzz采纳，获得10

1分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

1分钟前; 彭于晏上传了应助文件

1分钟前; jinshijie发布了新的文献求助10

1分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

2分钟前; 小马甲上传了应助文件

2分钟前; zzz发布了新的文献求助10

2分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

2分钟前; 迷路的朋友发布了新的文献求助10

3分钟前; 有害学术辣鸡完成签到，获得积分10

3分钟前; 且从容完成签到，获得积分10

3分钟前; 有害学术辣鸡发布了新的文献求助10

3分钟前; CodeCraft的应助被慢慢的地理人采纳，获得10

4分钟前; aDou完成签到，获得积分10

4分钟前; 烟花的应助被鲍文启采纳，获得10

4分钟前; ding上传了应助文件

5分钟前; 体贴的雪卉发布了新的文献求助10

5分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

5分钟前; 体贴的雪卉完成签到，获得积分10

5分钟前; 酷波er的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

6分钟前; 冬去春来完成签到，获得积分10

6分钟前; 无花果上传了应助文件

6分钟前; 小周发布了新的文献求助10

6分钟前; Emily发布了新的文献求助30

6分钟前; wcc发布了新的文献求助10

7分钟前; 科研通AI2S的应助被Emily采纳，获得10

7分钟前; 科研通AI2S的应助被Emily采纳，获得10

7分钟前; 执着的导师的应助被Emily采纳，获得10

7分钟前; maox1aoxin的应助被Emily采纳，获得30

7分钟前; 科研通AI2S的应助被Emily采纳，获得10

7分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

7分钟前; ASD123发布了新的文献求助10

8分钟前; 科目三上传了应助文件

8分钟前