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 Comparative study of methods for counting of dislocations in 4H-SiC 4H-SiC中位错计数方法的比较研究
相关领域
材料科学
位错
薄脆饼
蚀刻（微加工）
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基面
结晶学
光电子学
纳米技术
复合材料
计算机科学
统计物理学
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化学
物理
图层（电子）
蛋白质结构
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：C. Kranert; Petra Wimmer; Alexis Drouin; C. Reimann; Jochen Friedrich 出版日期：2024-02-01 |
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