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 Study on PVA Brush Loading and Conditioning during Shallow Trench Isolation Post-CMP Cleaning Process 浅沟隔离CMP后清洗过程中PVA电刷加载与调理的研究
相关领域
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Samrina Sahir; Hwi-Won Cho; Tae‐Gon Kim; Satomi Hamada; Nagendra Prasad Yerriboina; et al 出版日期：2022-02-01 |
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