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Optical phase shifter with electrostatic actuation mechanism for refractive index tuning of the silicon photonics waveguides based on a rotating microelectromechanical system structure
基于旋转微机电系统结构的用于硅光子波导折射率调谐的具有静电致动机构的光学移相器
相关领域
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期刊:Optical Engineering 作者:Yashar Gholami; Mohammad Hossein Poorghadiri Isfahani; Kian Jafari; Mohammad Hossein Moaiyeri 出版日期:2024-12-12 |
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