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 Ultrathin Aluminum Oxide Films Induced by Rapid Thermal Annealing for Effective Silicon Surface Passivation 快速热退火诱导超薄氧化铝薄膜有效钝化硅表面
相关领域
钝化
材料科学
硅
退火（玻璃）
氧化物
铝
热氧化
氧化硅
图层（电子）
活化能
原子层沉积
化学工程
形成气体
金属
氧化物薄膜晶体管
纳米技术
光电子学
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化学
薄膜晶体管
物理化学
氮化硅
工程类
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期刊：Physica Status Solidi (rrl) 作者：Jun Chen; Peng Wang; Can Liu; Guoqiang Yu; Tao Wang; et al 出版日期：2021-08-11 |
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