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 Hybrid Silicon-Organic Methacrylate Monomers and Hyperbranched Polymers that Override the Ohnishi Parameter for Oxygen Plasma Etch Resistance 取代Ohnishi抗氧等离子体蚀刻参数的杂化硅-有机甲基丙烯酸酯单体和超支化聚合物
相关领域
甲基丙烯酸酯
单体
材料科学
氧气
聚合物
硅
等离子体
高分子化学
化学工程
化学
复合材料
光电子学
有机化学
物理
核物理学
工程类
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期刊：ACS Applied Polymer Materials 作者：Claire Hartmann‐Thompson; Elizabeth Lilygren; Adunya Mekonnen; Evan L. Schwartz; Sihan Xie; et al 出版日期：2024-06-19 |
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