标题 |
Silicon-carbide-based MEMS for gas detection applications
用于气体检测应用的碳化硅基MEMS
相关领域
微系统
微电子机械系统
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Jean-François Michaud; Marc Portail; Daniel Alquier; Dominique Certon; Isabelle Dufour 出版日期:2023-11-22 |
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