AlN piezoelectric thin films for energy harvesting and acoustic devices

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标题	AlN piezoelectric thin films for energy harvesting and acoustic devices 用于能量收集和声学器件的AlN压电薄膜相关领域材料科学微电子压电制作能量收集薄膜氮化物光电子学半导体传感器纳米技术工程物理功率（物理）电气工程复合材料图层（电子）替代医学病理工程类物理医学量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2018.06.062
DOI	10.1016/j.nanoen.2018.06.062 doi
其它	期刊：Nano Energy 作者：Chunlong Fei; Xiangli Liu; Benpeng Zhu; Di Li; X. F. Yang; et al 出版日期：2018-06-19
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