标题 |
Post-Fabrication Trimming of Silicon Photonic Ring Resonators at Wafer-Scale
硅光子环形谐振器的晶圆级后修整
相关领域
修边
制作
谐振器
薄脆饼
材料科学
光电子学
硅
硅光子学
纳米技术
工程类
机械工程
医学
病理
替代医学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Journal of Lightwave Technology 作者:Hasitha Jayatilleka; Harel Frish; Ranjeet Kumar; John Heck; Chaoxuan Ma; et al 出版日期:2021-05-25 |
求助人 | |
下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|