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![]() 聚合物基体和光产酸剂对化学放大光刻胶光刻性能的影响
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期刊:Russian Microelectronics 作者:С. А. Булгакова; D. A. Gurova; С. Д. Зайцев; E. E. Kulikov; Е. В. Скороходов; et al 出版日期:2014-11-01 |
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