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 Chemical and structural characterization of tungsten nitride (WNx) thin films synthesized via Gas Injection Magnetron Sputtering technique 气体注入磁控溅射氮化钨薄膜的化学和结构表征
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期刊：Vacuum 作者：B. Wicher; R. Chodun; K. Nowakowska-Langier; M. Trzcinski; L. Skowroński; et al 出版日期：2019-04-13 |
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