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Large-area regular periodic surface structures on 4H-SiC induced by defocused femtosecond laser
飞秒激光离焦诱导4H-SiC大面积规则周期表面结构
相关领域
激光器
飞秒
材料科学
光学
纳米结构
涟漪
碳化硅
光电子学
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物理
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期刊:Semiconductor Science and Technology 作者:Ziyu He; Xiaozhu Xie; Jiangyou Long; Tao Liu; Zucheng Zhang; et al 出版日期:2022-07-27 |
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