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 Self-Aligned Edge Contact Process for Fabricating High-Performance Transition-Metal Dichalcogenide Field-Effect Transistors 制造高性能过渡金属二硫族化物场效应晶体管的自对准边缘接触工艺
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期刊：ACS Nano 作者：Seokjin Ko; Dongryul Lee; Jeongmin Kim; Chang‐Koo Kim; Jihyun Kim 出版日期：2024-08-22 |
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