A Review: Preparation, Performance, and Applications of Silicon Oxynitride Film

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标题	A Review: Preparation, Performance, and Applications of Silicon Oxynitride Film 氮氧化硅薄膜的制备、性能及应用相关领域氮化硅材料科学化学气相沉积硅刮擦图层（电子）折射率纳米技术原子层沉积光电子学沉积（地质）发光氮化硅复合材料古生物学生物沉积物
网址	http://dx.doi.org/10.3390/mi10080552
DOI	10.3390/mi10080552 doi
求助人	清辉夜凝在 2025-01-03 16:19:00 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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