Mechanical Properties of Thin AlSiN Films, Studied by Nanoindentation, as a Thermal-Stability Criterion

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标题	Mechanical Properties of Thin AlSiN Films, Studied by Nanoindentation, as a Thermal-Stability Criterion 纳米压痕法研究AlSiN薄膜的力学性能相关领域纳米压痕材料科学纳米晶材料无定形固体退火（玻璃）溅射沉积复合材料薄膜弹性模量表面粗糙度热稳定性原子力显微镜溅射结晶学纳米技术化学工程化学工程类
网址	https://doi.org/10.1134/s102745101903011x
DOI	10.1134/s102745101903011x doi
其它	期刊：Surface investigation: x-ray, synchrotron and neutron techniques 作者：Т. А. Кузнецова; T.I. Zubar; V. A. Lapitskaya; K. A. Sudzilovskaya; С. А. Чижик; et al 出版日期：2019-05-01
求助人	fuhua 在 2024-12-27 00:59:29 发布自福建，悬赏 10 积分
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